洁净区
空气悬浮粒子浓度
受控的限定空间
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光学电子净化工程
光学电子净化工程是将一定范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内而设计出的密闭空间。光学电子净化工程已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等行业不可或缺的主要设施。
系统组成
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洁净辅助区净化用房
物料净化室
部分生活用房 -
管理区办公、值班
及管理用房 -
设备区净化空调设备
电气设备
冷热设备和高纯水
高纯气管道设备
等级标准
洁净室(区)空气洁净级别表
| 洁净室级别 |
尘粒最大允许数/立方米 ≧0.5μm尘粒数 |
≧0.5μm尘粒数 |
微生物最大允许数 （浮游菌/立方米） |
沉降菌/皿 |
| 100级 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
| 1000级 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
| 10000级 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
| 30000级 | 10500000 | 60000 | 1000 | 15 |
光学微电子净化工程换气参数
| 换气次数 |
100000级≧15次 10000级≧20次 1000级≧30次 |
压差 | 主车间对相邻房间≧5pa |
| 平均风速 | 10级、100级 0.3~0.5m/s | 温湿度 |
冬季﹥16℃ 夏季﹤26℃波动±2℃ 湿度45~65% GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜 电子车间湿度略高以免产生静电 |
| 噪音 | ≦65db(A) | ||
| 新风补充量 | 新风补充量是总风量的10%~30% | ||
| 照度 | 300LX |
