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什么是洁净室,洁净室有哪些分类?
来源:    阅读量:次    时间:2020-12-30
洁净室也叫洁净室,无尘室或者清净室,是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,控制微粒(尘埃粒子)的污染。来达到满足精密产品的生产需求。洁净室绝不是仅限于"洁净",不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体,集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种专业技术于一体,按《洁净厂房设计规范》规定,乱流洁净室新风量应不小于总风量的10%-30%;单向流洁净室,新风量应不小于总风量的2%-4%,当然也可以根据洁净室的具体功能而定。


那么洁净实验室有哪些分类呢,我们来看下



按照用途,可分为两大类 

①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械

工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(

液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。 

②生物洁净室:以控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为: 

A.一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保持正压。实质上其

内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。

B.生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。   

按照气流导向,可以分为以下四类: 

①.单向流洁净室(层流、活塞流、垂直流,平行流) 

(1) 既气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室天花截面下通过的洁净室。单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。迅速把室内污染排回风道。 

(2) 要想实现"活塞流"的作用,最重要的是高效过滤器必须满布。但是由于高效过滤器有边框,放置高铲过滤器也要有支架,不可能百分之百的满布。所以我国《洁净厂房设计规范》规定,垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

②.乱流净室  
乱流洁净室是气流以不均匀的速度是不平行流动,伴有回流或涡流。原理是乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,把室内污染逐渐排出,来实殃洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换气次数决定定义无反顾的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间

③.辐射流(斜流)洁净室  

④.混合流洁净室(乱流、层流同在) 

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
①洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:弹性扩充容易;维修设备时可在维修区轻易执行。
②洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
③并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。另外还有洁净工作台和洁净工作棚等。


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